ビサイ カコウ ト レジスト
微細加工とレジスト / 野々垣三郎著
(高分子新素材one point / 高分子学会編 ; 3)
| データ種別 | 図書 |
|---|---|
| 出版者 | 東京 : 共立出版 |
| 出版年 | 1987.11 |
| 本文言語 | 日本語 |
| 大きさ | iv, 99p ; 19cm |
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